中频磁控溅射电源 WZP20-600V-20KW中频真空等离子清洗电源

主要技术参数

产品名称

20KW中频磁控溅射镀膜电源

产品型号

WZP20-600V

产品品牌

跃迁

电源类型

全数控智能电源

输入电压：

AC380V±10%

输出

功率:

20KW

电流:

0~value="40" unitname="a">40A

电压:

额定电压500V,最高电压> 600V

频率

40Khz

波形

准正弦波

方式

自定义恒压、恒流、恒功率

调节精度

≤1%

效率

≥90%

功率因数

cosΦ≥0.9

控制方式:

电源面板按键控制

模拟信号控制：TTL电平，可以控制工作停止，输出电压或输出电流或输出功率，外部开路保护（一般用于水流保护）

数字接口控制：485通讯。也可以定制232接口

物联网WIFI连接，远程网络监控

显示方式:

中英文液晶显示

显示内容：

工作状态，输出电压，输出电流，设定值

输出保护

输出过压，输出过流，输出失调

输入保护

输入过压，输入欠压，输入过流，缺相

安全保护

接地保护，漏电保护，外控保护,防雷保护，过热

绝缘等级

B级

防护等级

IP20

保护响应时间

1uS

输入

对外壳电阻

≥value="20" unitname="m">20MΩ

输出

输入对外壳耐压

2000V/1min

输入对输出耐压

3500V/1min

使用环境

温度：

0～value="35" unitname="℃">35℃

湿度：

≤80%

冷却方式：

水冷

外形尺寸：

480*135*380（mm ）

特点 :

体积小，重量轻，结构简单，操作简单，稳定可靠

电路采用模块化设计，调试维修方便。

真空清洗电源，不易产生电弧，负载适应范围宽

适用范围

输出电压偏低，输出电流大，如果用于磁控溅射，适用于真空气压较高，工作电压较低的场合

备注：

出厂默认为TTL模拟接口和485接口

故障提示

全数控智能电源,有10多种故障检测处理系统，故障具有声音提示和中英文提醒，可以输出故障类型