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Mini CPS微型真空探针台功能特点
介电/压电/铁电/热释电/光电材料的电学性能表征
机械弹性设计，避免探针损坏薄膜样品
可在真空、气氛环境下测量
小巧精密，外观精致
1000X显微放大，有利于实时观察样品状态
微型真空探针台是一种用于半导体设备和集成电路的非破坏性测试仪器，广泛应用于科研、教学和产业界。由于其对样品的无损检测特性，使得它在半导体行业得到了广泛的应用。然而，这种设备的使用需要严格遵守操作规程，以确保设备正常运行和测试结果的准确性。
安全操作规程
在使用微型真空探针台之前，务必仔细阅读并理解用户手册中的所有内容，特别是关于设备安装、操作和维护的部分。
在操作设备时，必须戴上防护眼镜和手套，以防止眼睛和手部受伤。
在设备运行过程中，严禁触摸设备的运动部件，以防被夹伤或刮伤。
在设备出现故障时，应立即关闭电源，并由专业人员进行维修。
在清洁设备时，应先关闭电源，然后使用干燥的软布进行擦拭，不可使用含有腐蚀性的清洁剂。
操作步骤
在开启设备前，首先检查设备的电源线是否连接正常，然后打开设备的电源开关。
将待测样品放置在设备的测试台上，然后通过操作面板设置测试参数。
在设置好测试参数后，按下开始测试按钮，设备开始进行测试。
在测试过程中，可以通过观察设备上的显示器来了解测试的进度和结果。
在测试结束后，关闭设备的电源开关，然后将待测样品从测试台上取下。
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